HDIトライボロジー特性に対するスライダー表面化学処理の効果

摘要

本研究では、コンタミネーション雰囲気下でのCSS (Contact start/stop)摩擦試験で汚染雰囲気の摩擦挙動への影響を調べた。また、摩擦試験後に飛行時間型二次イオン質量分析計(TOF-SIMS)によるスライダーの表面分析を行った。HDIのトライボロジー特性に対するコンタミネーションの影響の解明と、HDI特性向上のための改善策について検討したので報告する。