セグメント表示型有機ELパネル欠陥検査手法の開発

摘要

特定マークや数字を表示できる蛍光表示管や液晶パネルが多くの家電製品、医療機器、自動車計器パネルに採用されている。特に、有機EL パネルは自発光型で視認性が高いため、車載用途に適したディスプレイとして、生産量が拡大している。有機EL ディスプレイは、パッシブ型パネルとアクティブ型パネルに分類でき、パッシブ型には、ドットマトリクス構造とセグメント構造が存在する。パッシブ型パネルは、陰極と陽極の交差部に有機EL 素子を配置する構造であり、陰極と陽極から素子を駆動することによって発光させる駆動方式を用いる。セグメント表示型有機EL製造工程では、パネルを通電し、パターンの点灯状態やパターン欠陥を検査する。また、有機EL 素子の劣化によるダークスポットと呼ばれる非発光部の発生がある。ダークスポット（微小黒点）欠陥も必要な検査項目となっている。図1 に白黒セグメント表示型有機EL 欠陥例を示す。