超精密工作機械用3モード位置決めシステムによるピコメートル位置決めの研究

摘要

筆者らはこれまでに超精密工作機械の位置決め装置としてツイストローラ摩擦駆動機構と能動制御空気静圧案内面を開発し，両機構がともにサブナノメートルオーダの位置決め分解能を持つことを示してきた．そして，昨年の精密工学会全国大会（島根大学）ではこれらの機構を組み合わせ，粗動，微動，そして超微動の3つのモードを持った超精密位置決めシステムを提案した．この位置決めシステムではツイストローラ摩擦駆動機構を長ストロークの粗動位置決め装置とし，これにツイストローラ駆動軸の微動装置と能動型静圧案内面による超微動位置決め装置を組み合わせ，ピコメートルオーダの位置決め分解能の実現をめざしている．本研究ではこの3モード位置決めシステムによる超精密位置決め実験結果につき報告する．