6自由度超精密线性定位系统误差检测与补偿方法

摘要

为提高精密定位系统几何误差、热诱导误差以及动态误差检测精度,基于刚度高、相应速度快的并联柔性铰链机构提出一种6自由度超精密线性定位系统,并对该定位系统的全范围运动进行了测量,用运动学方法计算每个执行机构所需的位移量用于补偿误差;同时提出一种基于递推法的误差补偿算法,提高了系统的定位精度;通过对5自由度直线性平台误差的实时测量和补偿,研究了6自由度超精密线性定位系统的有效性.在实际应用中,平移和旋转误差的峰谷误差分别降低了89％和93％,证明了递推补偿算法的有效性.