液晶マスクを用いたマイクロ光造形法に関する研究－オーバハング形状を持つ基本形状の造形

摘要

近年マイクロマシニング技術が大変注目されており，省スペース，省エネルギ，省資源の他，工業·医療分野への応用も期待されている．しかし，その多くが半導体製造技術を応用した2 次元平面構造作製技術であり，複雑な3次元マイクロ構造物の作製が困難であることが問題点として挙げられている．そこで，我々は液晶ディスプレイ(LCD)を露光マスクとして用いたマイクロ光造形法を提案している．本手法は3D-CAD から高速·簡単·自動的に3 次元マイクロ構造物の造形が可能である．また従来のレーザ走査による光造形法とは異なり，一層を一度の露光で硬化させる面露光型を採用しているため，造形時間と造形精度の間のトレードオフの関係を克服し，高速·高精度な造形が可能となっている．実用的なマイクロ光造形法を確立するためには，オーバハング形状を持つ複雑な3 次元構造物の作製が必要不可欠である．本研究では，その一例として複雑な3 次元マイクロばねを構成する基本要素であるオーバハングばね形状の作製について検討を行なった．