微細作業におけるセンシングツールと操作性に関する考察

摘要

近年，半導体産業，バイオ産業，医療現場等の様々な分野で，光学顕微鏡又は電子顕微鏡の映像を元に実時間で微細作業を行うニーズが増加している．この場合，対象物は数mm～数μmと非常に微小であるため，人の手で直接操作することは困難である．そのため，マニピュレータなどの補助器具を用いることが多いが，作業者が視覚情報のみを頼りに操作する場合，器具と試料の接触状態の把握が非常に難しく，作業に長い時間を要したり，試料及び器具の破損を招く可能性がある．本研究では，視覚情報に加え仮想現実技術を応用した力覚情報を導入することにより，操作者がマクロスケールに近い感覚で作業を行える作業環境を提供し，微細作業の操作性の向上を図ることを目的とする．本報告は，インターネットを介した遠隔操作による微細作業に関する実験結果を中心に報告する．