磁性流体研磨法(MRF)によるELID 研削面の超精密仕上げ

摘要

一方，量産ではスループットへの追求で高品位加工面を得るには遊離砥粒による仕上げ加工は，いまだに多く採用されている．当室は今までの極限の平滑性と超精密な形状精度を有したX 線反ミラー，中性子ミラーの研究開発において，ELID研削で創成した高精度形状面を最適条件で短時間の研磨加工による鏡面仕上げ手法を確立してきた．最近，磁性流体研磨法(Magnetorheological Finishing: MRF)が提唱され，NC 制御を利用して，計測を含めた加工システム構築により，ガラスレンズの完全自働生産を睨hだ製造ラインが提案された．ここで，ELID 研削のような高精度·高能率加工手法を取り入れることで，さらに効果的なシステムの構築が行える．本報では，ELID 研削面の性状とMRF 仕上げの時間，加工面性状の関係について基礎研究を行ったので，その結果を述べる．