ワイドギャップ用途向け渦電流式変位センサの開発

摘要

ベアリングレスモータや磁気軸受の変位制御において，渦電流変位センサが半径方向の軸変位の計測に用いられている。また，キャンドモーターポンプなどに，これらの磁気浮上回転機を適用する場合，回転子と固定子を樹脂の隔壁で覆う必要があるためにワイドギャップの計測が可能な渦電流センサが必要になる。しかし，一般的に市販されている渦電流センサは円形コイルを用いた構造のため，ワイドギャップを計測するためにはその半径，すなわちセンサのサイズを大きくしなければならず，機械構造設計において非常に取り回しが悪くなる問題があった。そこで，本研究では，センサコイルの形状を工夫しセンサターゲットとの対向面積を増加させることによりワイドギャップの計測が可能な渦電流変位センサの開発を行う。本稿では初期検討として鉄心にコイルを巻き変位計測が可能であることを確認した。