基于反函数分段校正的电涡流位移传感器线性化方法及利用此方法的电涡流位移传感器

摘要

本发明公开了一种基于反函数分段校正的电涡流位移传感器线性化方法及利用此方法的电涡流位移传感器，其线性化方法基于未经线性化处理前电涡流位移传感器的输入‑输出特性，利用反函数分段校正的方法，设计基于反函数分段校正的线性化电路，并将此电路串联于电涡流位移传感器的输出端，即可将电涡流位移传感器的输入‑输出的特性进行线性化；其电涡流位移传感器包括电涡流传感器探头、前置器和基于反函数分段校正的线性化电路。基于反函数分段校正的线性化电路对电涡流位移传感器的输出信号进行线性化补偿后的输出信号与位移信号成线性关系。该方法不仅提高了电涡流位移传感器输入‑输出特性的线性度，同时也扩展了线性测量范围。