大気圧MCS放電プラズマの高密度化を目的としたMHCD電極表面条件の研究

摘要

マイクロホローカソード放電（MHCD）プラズマは，体積は微少であるが大気圧下において安定したグロー放電を得ることができる．本研究室ではMHCD電極をプラズマカソードとして，土台となる螺旋状に穴の開いたアルミ素材の円筒の表面に巻きつけるように配置し，円筒中心軸に線電極（以下第3電極と呼ぶ）を通しプラズマの領域を拡大した円筒型並列MCS（マイクロホローカソードサステインド）放電装置を作製した．本研究ではこの土台の材質等の条件がMCS放電に与える影響を調べるとともに，MCS 放電の並列動作おける装置の改良を行った．