基于三电极表面介质阻挡放电的大气压等离子体发生装置

摘要

本发明涉及一种基于三电极表面介质阻挡放电的大气压等离子体发生装置。所述等离子体发生装置包括两个相对布置的竖直介质板和若干个均匀固定在两个竖直介质板上的放电单元，所述放电单元左、右对称布置且均分布在两个竖直介质板的外侧；高压平板电极位于两个竖直介质板的之间并紧密贴合；其中，每个放电单元均包括水平介质板，所述水平介质板垂直固定在所述竖直介质板上；在所述水平介质板的上表面紧贴有直流电极，在所述水平介质板的下表面紧贴有地电极，整个地电极上封装有热熔胶；每侧的相邻放电单元之间距离最小为10mm。本发明可产生大面积低温等离子体，有效提高等离子体产生效率。