Ion implantation; Surface damage; Ellipsometry; Rutherford backscattering spectrometry; Silicon;
机译:光谱椭圆偏光法和卢瑟福背散射光谱法研究单晶硅中离子注入引起的损伤深度分布
机译:使用卢瑟福反向散射光谱,透射电子显微镜和椭圆偏振光谱法对等离子浸没离子注入的硅的近表面区域进行表征
机译:卢瑟福背散射光谱法和椭圆偏振光谱法研究离子注入引起的隐埋性疾病
机译:离子注入的比较研究引起光谱椭圆形测定法和曲赫福硅硅的异常表面损伤 - 勘探光谱法
机译:分光光度法表征表面,薄膜和离子注入的硅。
机译:椭圆偏振光谱法评估氧化剂混合物作为多孔硅微结构表面改性剂的作用
机译:卢瑟福背散射光谱,椭圆偏振光谱和透射电子显微镜对注入的SiC损伤的观察
机译:从植入的锗和硅中寻找卢瑟福背散射光谱中的近地表面异常产量损失