電子照射下でのシリカガラスのカソードルミネッセンスと帯電に関する研究

摘要

本研究の目的はガラスへの電子線照射効果の基礎理解のため、様々なガラスの基礎的構成要素であるシリカガラスに数十keV程度の電子線を照射し、その効果カソードルミネッセンス（CL）によって評価することと、CL発光強度の時間推移と帯電の関係および正負を電気的測定により明らかにすることである。