copper; metallic thin films; etching; coaxial cables; electroplating; micromachining; 3D Cu coaxial cable; porous silicon MEMS technology; etching; porous silicon micromachining; copper plating; Cu; Si;
机译:多孔硅技术制造三维铜同轴电缆
机译:利用多孔硅和MEMS技术的气桥CPW设计与制造
机译:方便地制造具有高性能的N掺杂多层多孔碳@CNT同轴纳米电缆,用于能量存储和转换
机译:使用多孔硅MEMS技术制造三维Cu同轴电缆
机译:基于对侧面同轴电缆布拉格光栅耦合器的同轴电缆环谐振器进行传感应用
机译:陀螺仪应用玻璃硅MEMS制造技术的关键工艺
机译:多孔硅三维周期性结构的制备及其结构和性能评价