Breitbandige Bestimmung der komplexen Permittivitat von dielektrischen Substraten

摘要

Ruckfuhrbare Messung der dielektrischen Materialparameter ist fur technische Anwendungen von grosser Bedeutung. Uber den Split-Cylinder-Resonator sind Messungen der komplexen Permittivitat ε_r an unprozessierten Samples bis max. 50 GHz moglich. Uber die On-wafer-Methode sind Messungen der relativen Permittivitat ε_r 'bis 110 GHz an prozessierten Samples moglich. Messergebnissebeider Methoden stimmen gut uberein.