Embedded MEMS; Pressure sensor; Pressure transducer; Vacuum encapsulation;
机译:TPMS(轮胎压力监测系统)传感器:表面微机械压阻式压力传感器和可自测加速度计的单片集成
机译:高灵敏度表面微机械压力传感器
机译:具有光刻定义的硅膜片的表面微加工电容式压差传感器
机译:具有子表面,嵌入式参考压力腔的平面表面 - 微机械压力传感器
机译:SmartCast-用于矫形铸件的嵌入式压力感测的新型纺织品传感器。
机译:嵌入压阻式压力传感器以获取纤维复合材料层压板内部的在线压力曲线
机译:平面表面微加工压力传感器,带有亚表面,嵌入式参考压力腔
机译:平面表面微加工压力传感器,带有一个子表面,嵌入式参考压力腔