Femtosecon laser; LIGA; micro stereolithography;
机译:用于声学应用的三维(3D)微流体基微电子机械系统(MEMS)的添加剂制造
机译:短脉冲激光显微成型的金属薄板制造记忆体
机译:具有新型三维准连续网络微观结构的TiB-Ti复合材料的激光沉积增材制造:对强化和增韧的影响
机译:通过互补的激光微制造技术推动三维MEMS
机译:三维微结构和微机电系统(MEMS)的微装配。
机译:用于声流体应用的基于三维(3D)微流体的微机电系统(MEMS)的增材制造
机译:勘误:通过激光光刻技术制造碳微电极以进行电化学检测(《微/纳米光刻技术,MEMS和MOEMS杂志(2011)10(043013))
机译:利用微机电系统(mEms)制造技术可重复制造翼型微型飞行器翼