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Micromachining and Microfabrication Process Technology XI
Micromachining and Microfabrication Process Technology XI
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1.
High aspect ratio plasma etching of bulk Lead Zirconate Titanate
机译:
高纵横比等离子体蚀刻块状锆钛酸铅
作者:
Srimath S. Subasinghe
;
Abhijat Goyal
;
Srinivas A. Tadigadapa
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
anisotropic etching;
dry etching;
inductively coupled plasma;
reactive ion etching (RIE);
micro electro mechanical systems (MEMS);
lead zirconate titanate (PZT);
ceramic;
bulk micromachining;
2.
Fabrication of micro-chambers and enclosures using synchronous localized electro-deposition
机译:
使用同步局部电沉积制造微室和外壳
作者:
R.A. Said
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
micro-fabrication;
3Dmicro-structures;
localized electro-deposition;
localized electro-chemical deposition;
3.
Zero-crossing edge detection for visual force measurement in assembly of MEMS devices
机译:
零交叉边缘检测,用于MEMS设备组装中的视觉力测量
作者:
Yasser H. Anis
;
James K. Mills
;
William L. Cleghorn
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
microassembly;
visual force measurement;
microgripper;
zero-crossing edge detection;
4.
Optical Analysis of Scanning Microstereolithography Systems
机译:
扫描微立体光刻系统的光学分析
作者:
Suhas P. Deshmukh
;
Shashikant Dubey
;
P. S. Ghi
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
microstereolithography;
micro-fabrication;
MEMS;
5.
On the Out-Of-Plane Deformation of Freestanding Micro-Rings for Tensile Stress Measurements
机译:
用于拉伸应力测量的独立式微环的平面外变形
作者:
Yang-Che Chen
;
Max Ti-Koung Hou
;
Rongshun Chen
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
MEMS;
thin film;
residual stress measurement;
6.
Ni-electroplating of double-width micro-cantilever
机译:
双宽度微悬臂梁的镍电镀
作者:
Yifang Liu
;
Daoheng Sun
;
Mingliang Wang
;
WenLong Lv
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
double-width;
cantilever beam. micro-electroplating;
pulsed current;
7.
Microstereolithography production of integrated Hadamard mask structures
机译:
集成Hadamard掩模结构的微立体光刻生产
作者:
Christopher J. Robinson
;
Larinn M. Southwell
;
Jeremy A. Palmer
;
Mark W. Smith
;
Michael B. Sinclair
;
Bart D. Chavez
;
Brent E. Stucker
;
Francisco Medina
;
Ryan B. Wicker
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
aperture mask;
hadamard spectrometer;
microstereolithography;
8.
Development of fabrication techniques for high-density integrated MIM capacitors in power conversion equipment
机译:
功率转换设备中高密度集成MIM电容器制造技术的发展
作者:
M. Brunet
;
P. Dubreuil
;
E. Scheid
;
J-L. Sanchez
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
DRIE;
integrated capacitor;
MIM;
high aspect ratio trenches;
high capacitance density;
9.
A Curled-Hinge Comb Micro-Mirror Using CMO-MEMS Process
机译:
使用CMO-MEMS工艺的卷曲铰梳微镜
作者:
Y. R. Huang
;
H. M. Tai
;
H. P. Chou
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
micro-mirror;
CMOS-MEMS;
curled-hinge comb;
10.
Fabrication of three-dimensional near-IR photonic crystals using deep- UV contact photolithography and silicon micromachining
机译:
使用深紫外接触光刻和硅微加工制造三维近红外光子晶体
作者:
Bhargav S. Citla
;
Sriram Venkataraman
;
Janusz Murakowski
;
Garrett J. Schneider
;
Dennis W. Prather
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
three-dimensional photonic crystals;
silicon micromaching;
nano-photonics;
nano-fabrication;
11.
Fabrication of integrated tight guiding plate for backlight system
机译:
用于背光系统的集成紧密导板的制造
作者:
Chao Heng Chien
;
Zhi Peng Chen
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
hot embossing;
MEMS;
12.
Process Design and Tracking Support for MEMS
机译:
MEMS的工艺设计和跟踪支持
作者:
A. Wagener
;
T. Schmidt
;
J. Popp
;
K. Hahn
;
R. Brueck
;
D. Ortloff
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
TCAD;
MEMS;
process management;
process design;
process tracking;
13.
Nanofabrication of Electrochemical Planar Probes for Single Cell Analysis
机译:
用于单细胞分析的电化学平面探针的纳米加工
作者:
R. J. Fasching
;
S-J Bai
;
T. Fabian
;
F. B. Prinz
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
electrochemical nano-probe;
single cell analysis;
FIB;
AFM;
SECM.;
14.
Injection Molded Microfluidic Devices for Biological Sample Separation and Detection
机译:
用于生物样品分离和检测的注射成型微流控设备
作者:
Alfredo M. Morales
;
Blake A. Simmons
;
Thomas I. Wallow
;
K. Jeffery Campbell
;
Seethambal S. Mani
;
Brita Mittal
;
Robert W. Crocker
;
Eric B. Cummings
;
Rafael V. Davalos
;
Linda A. Domeier
;
Marion C. Hunter
;
Karen L. Krafcik
;
Gregory J. McGraw
;
Bruce P. Mosie
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
microfluidics;
bioagent;
injection molding;
metrology;
dielectrophoresis;
capillary electrophoresis;
zeonorreg;
bonding;
15.
Investigation on overplating high-aspect-ratio microstructure
机译:
高纵横比显微组织的研究
作者:
Yuhua Guo
;
Gang Liu
;
Yangchao Tian
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
LIGA;
electroplating;
simulation;
microstructure;
16.
Enhancement of structural stiffness in MEMS structures
机译:
增强MEMS结构的结构刚度
作者:
Samir Ilias
;
Francis Picard
;
Patrice Topart
;
Carl Larouche
;
Hubert Jerominek
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
micromirror flatness;
planarity;
stiffness;
U-shaped profile;
electroplating based technology;
17.
Enhancing filling of interconnect deep trenches using Forced convection magneto-electroplating
机译:
使用强制对流磁电镀增强互连深沟槽的填充
作者:
R.A. Said
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
interconnect metallization;
magneto-electroplating;
magneto-hydro-dynamics electroplating;
18.
Endpoint Detection Methods for Time Division Multiplex Etch Processes
机译:
时分复用蚀刻工艺的端点检测方法
作者:
Russ Westerman
;
Dave Johnson
;
Shouliang Lai
;
Mike Teixeira
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
MEMS;
deep si etching;
optical emission;
end point;
19.
Characterization of Nonlinear Optical Polymers Fabricated From Dye Doped UV Curing Epoxy
机译:
染料掺杂紫外固化环氧树脂制备的非线性光学聚合物的表征
作者:
Kevin Le
;
Ping Zhang
;
Hans Hu
;
J.-C. Chiao
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
poled epoxy;
optical nonlinearity;
thin film;
20.
Combined low-coherence interferometry and spectrally resolved reflectometry for nondestructive characterization of small-diameter high-aspect ratio micro-fabricated and micro- machined structures, and multilayer membranes
机译:
结合使用低相干干涉测量技术和光谱分辨反射测量技术,可无损表征小直径高纵横比的微加工和微加工结构以及多层膜
作者:
Wojciech J. Walecki
;
Talal Azfar
;
Alexer Pravdivstev
;
Manuel Santos II
;
Ann Koo
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
interferometer;
metrology;
thin film;
pressure sensor;
21.
Advancing three-dimensional MEMS by complimentary laser micro manufacturing
机译:
通过互补的激光微制造技术推动三维MEMS
作者:
Jeremy A. Palmer
;
John D. Williams
;
Tom Lemp
;
Tom M. Lehecka
;
Francisco Medina
;
Ryan B. Wicker
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
femtosecond laser;
LIGA;
micro stereolithography;
22.
Anisotropic etching of single crystalline SiC using molten KOH for SiC bulk micromachining
机译:
使用熔融KOH进行SiC块体微加工的单晶SiC各向异性刻蚀
作者:
Katsuhiko Fukunaga
;
Jun Suda
;
Tsunenobu Kimoto
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
single crystalline;
SiC;
MEMS;
molten KOH;
Al mask;
anisotropic wet etching;
bulk micromachining;
activation energy;
23.
An Optical Scanner Based on Electromagnetically Actuated Optical Fiber
机译:
基于电磁驱动光纤的光学扫描仪
作者:
Hans P. Hu
;
Kevin D. Le
;
J.-C. Chiao
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
scanner;
optical fiber;
electromagnetic actuation;
nickel;
24.
Assembled Fourier Transform Micro-spectrometer
机译:
组装傅立叶变换显微光谱仪
作者:
Jeongsik Sin
;
Woo Ho Lee
;
Dan Popa
;
Harry E. Stephanou
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
25.
A Polymer-based Fabry-Perot Filter Integrated with 3-D MEMS Structures
机译:
集成了3-D MEMS结构的基于聚合物的Fabry-Perot滤波器
作者:
Ping (Cerina) Zhang
;
Kevin Le
;
Smitha Malalur-Nagaraja-Rao
;
Lun-Chen Hsu
;
J.-C. Chiao
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
polymer;
absorption;
filter;
MOEM;
MEMS;
26.
5~10 GHz surface acoustic wave resonators and low-loss wide band filters using submicron fabrication technology
机译:
采用亚微米制造技术的5〜10 GHz声表面波谐振器和低损耗宽带滤波器
作者:
K. Yamanouchi
;
Y Satoh
;
H.Isono
;
D.Kawasaki
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology XI》
|
2006年
关键词:
surface acoustic wave;
interdigital transducer;
SAW resonator;
ladder type filter;
nano-technology;
5~10GHz low loss filter;
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