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Process Design and Tracking Support for MEMS

机译：流程设计和跟踪对MEMS的支持

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A MEMS process design, development and tracking system is presented. It allows the specification of processes for specific applications and the tracking of the development procedures. The system consists of several components. Based on a comprehensive database that is able to store and manage all process related design constraint data as well as development related data linked to the fabrication process itself. A design model representing the relations between application specific fabrication processes and the structural design flow will be presented. Subsequently the software environment, called PROMENADE, will be introduced meeting the requirements of this process approach.

机译：提出了MEMS过程设计，开发和跟踪系统。它允许针对特定应用程序的过程和跟踪开发程序的跟踪。该系统由多个组件组成。基于全面的数据库，能够存储和管理所有进程相关的设计约束数据以及与制造过程本身链接的开发相关数据。将呈现代表应用特定制造过程与结构设计流程之间的关系的设计模型。随后将推出称为长廊的软件环境，介绍满足此过程方法的要求。

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来源
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology 》|2006年||共8页
会议地点
作者
A. Wagener; T. Schmidt; J. Popp; K. Hahn; R. Brueck; D. Ortloff; SPIE-The International Society for Optical Engineering;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类微电子学、集成电路（IC） ;
关键词
TCAD; MEMS; process management; process design; process tracking;

机译：TCAD;MEMS;过程管理;过程设计;过程跟踪;

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