Aerographite; ZnO templates; Si nanolayers; plasma enhanced chemical vapor deposition; hollow microstructures.;
机译:在低基板温度下通过等离子体增强化学气相沉积和热线化学气相沉积沉积的薄膜的机械和压阻特性
机译:椭圆偏振光谱法表征超高频等离子体增强化学气相沉积法沉积微晶硅薄膜的微观结构
机译:通过等离子增强化学气相沉积在硅膜上沉积的压缩预应力氮氧化硅膜的光机械特性
机译:基于三维硅模板上的等离子体增强化学气相沉积沉积硅纳米组的表征中空硅微结构
机译:通过远程等离子体增强化学气相沉积沉积非晶硅和硅基电介质:在制造TFT和MOSFET中的应用
机译:使用电纺PVP纳米纤维模板的等离子体增强化学气相沉积法制备对准的超长和可控直径的氧化硅纳米管
机译:等离子体增强化学气相沉积沉积氮化硅和氮氧化硅薄膜的材料结构和机械性能