集束イオンビーム照射した単結晶ダイヤモンド工具の改質とその切削加工特性 第3報：テクスチャを有するダイヤモンド工具の作製

摘要

本研究では，高精度な微細加工が可能なFIBに着目し，これを用いた超精密加工用切削工具を作製することを目的とする．既報では，FIB照射した単結晶ダイヤモンド工具を適切な条件で熱処理することで，照射部の変質層を選択的にエッチングできることを示した．本報では，この技術をダイヤモンドのパターニングに応用し，単結晶ダイヤモンド工具表面に微細なテクスチャを作製した．これを用いて加工実験を行い，その効果について検討した．