熱化学反応を用いたナノ多結晶ダイヤモンドに対するナノ表面創成技術

摘要

ナノ多結晶ダイヤモンド(NPD)を超精密切削加工用の工具素材として用いるため，NPDに対する仕上げ成形技術の開発を行った．表面粗さを20nmRz以下の値に研磨した焼結ダイヤモンド(PCD)製円板に対して電解加工と高周波スパッタを行い，コバルト(Co)を遷移金属や比熱容量が高い酸化物や窒化物等で置換したPCD製円板を試作した．また，PCD製円板を用いてレーザ成形したNPD製ノーズRバイトのすくい面に対して乾式研削を行い，粗さが1nmRz以下の平滑な加工面を創成できる加工条件を見出すための実験を行った．