9nm node wafer; wafer defect inspection; interferometric microscopy; laser defect inspection; white-light defect inspection;
机译:基于激光扫描的晶圆检测缺陷检测算法
机译:使用扫描激光显微镜(SLM)和红外散射层析成像(IR-LST)对半绝缘6H-SiC单晶晶片中的缺陷进行无损三维观察
机译:具有已编程缺陷的标准晶圆,可评估用于7纳米及以上节点的300毫米晶圆制造中的图案检查工具
机译:使用三维扫描,405nm二极管激光器和宽带光源进行9nm节点晶圆缺陷检查
机译:一种基于激光二极管中自混合效应的三维激光测距仪。
机译:使用同时扫描的近红外二极管和CO2激光选择性切除龋齿
机译:微热成像技术可以快速检查二极管激光器中的缺陷