DSA contact holes; Mueller matrix scatterometry; Optical metrology; DSA induced defects;
机译:用于定向自组装辅助接触孔收缩的光学临界尺寸计量
机译:通过定向自组装来缩小接触孔:在300 mm的先导线上监控过程集成和稳定性
机译:定向自组装(DSA)接触孔收缩的缺陷研究
机译:用于定向自组装辅助接触孔收缩过程的CD光学计量
机译:用于基于Mueller矩阵光谱椭偏仪的散射法进行定向自组装构图的光学计量学。
机译:阐明具有飞秒光学镊子的均匀与异质纳米单元的光学场的光学场自相组装
机译:孔缩问题:米科尔科共聚物定向自组装的自洽场理论
机译:光学定向自组装纳米工程