MEMS; electronics; microelectronics; nanotechnology; processing;
机译:分子电子学的悠久历史:纳米技术的微电子学起源
机译:聚合物薄膜的CVD:在传感器,生物技术,微电子/有机电子,微流体,MEMS,复合材料和膜中的应用
机译:在常见MEMS,微型系统和微电子涂料和材料上的最佳紫外线光刻曝光和灰度剂量的SU-8光致抗蚀剂的用户友好指南
机译:微电子,MEMS和电子系统中的纳米和分子技术
机译:纳米结构微电子系统中的颗粒附着力。
机译:在纳米纹理表面上沸腾的水池状沸腾用于与大功率微电子冷却相关的微重力应用
机译:微电子,MEMS和纳米技术
机译:微机电系统(mEms)的微电子封装问题