基于微电子系统(MEMS)加速度地震勘探三分量数字检波器简介

摘要

基于微电子机械系统(MEMS)制成的微加速度三分量数字地震检波器,集数据采集、处理及传输功能于一体,在结构模型、工作原理、性能指标控制等方面不同于常规检波器,其信号幅值在低于自然频率范围内没有衰减.因其独特的制造技术,MEMS检波器具有超低噪声,大动态范围和极高的向量保真度性能.