基于微电子系统(MEMS)的加速度地震勘探三分量数字检波器

摘要

随着地震勘探技术的深入发展，多波地震采集技术越来越受到重视，而多波地震采集工作的质量在很大程度上取决于三分量地震检波器的性能。为此，本文介绍了MEMS加速度计的结构模型及其工作原理，论述了MEMS微加速度计主要性能指标的设计和控制。