Nanomess- und Nanopositioniergerate fur die nanometergenaue Positionierung, Messung und Bearbeitung von Oberflachen und Strukturen

摘要

Nanomess- und Nanopositioniergerate sind fur die nanometergenaue Positionierung und Messung z.B. von Oberflachen und Strukturen, von mechanischen und optischen Prazisionsteilen sowie fur die Materialanalyse erforderlich. Die Notwendigkeit, immer kleinere Objekte in immer grosseren Raumbereichen zu beherrschen, ergibt sich durch den anhaltenden Fortschritt der Mikro- und Nanotechnologien, insbesondere der Halbleiterindustrie, der Ultraprazisionsbearbeitung und vieler damit verbundener Technologien. Um die immer grossere Breite und Komplexitat an Messaufgaben in der Mikro- und Nanotechnologie erfullen zu konnen, ist ein Multisensoransatz auch fur Nanopositionier- und Nanomessmaschinen sinnvoll. Neben einer ganzen Reihe von optischen, taktilen und Rasterkraftsensoren werden erste Untersuchungen zu Nanotools fur die Nanobearbeitung von Oberflachen mit den Moglichkeiten der Nanopositionier- und Nanomessmaschinen vorgestellt.