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用于大范围纳米定位系统的新型直线压电马达

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介绍了一种用于大范围纳米定位系统的新型压电马达.它可驱动V型导轨工作台在50mm范围内运动,既可单步运行也可连续运行.激光干涉仪作为工作台位移的测量反馈元件,与工作台、马达控制器组成闭环系统.本文阐述了压电马达的连续微动原理、结构设计及其特性、控制电路及性能指标等.

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来源
《2002年全国电子测控工程学术年会》|2002年|1097-1100|共4页
会议地点武夷山
作者
张玉祥; 赵美蓉; 温丽梅; 林玉池;
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作者单位

中国电子学会;

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类直线电机;
关键词
直线马达; 执行器; 纳米定位系统; 压电马达; 结构设计;

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