Energy harvester; MEMS; Thick film; PZT; Bimorph;
机译:用于振动能量收集的丝网印刷PZT / PZT厚膜双压电晶片MEMS悬臂装置
机译:基于MEMS的PZT / PZT双压电晶片厚膜振动能量采集器的制备与表征
机译:使用能量收集应用的微机电系统(MEMS)工艺对Bimorph Pb(Zr,Ti)O_3(PZT)悬臂进行微加工
机译:用于振动能量收集的丝网印刷PZT / PZT厚膜双压电晶片MEMS悬臂装置
机译:用于压电MEMS机械能收集的PZT薄膜。
机译:LaNiO3缓冲不锈钢箔上的压电PZT厚膜用于柔性设备应用
机译:基于mems的pzt / pzt双压电晶片厚膜振动能量收集器