MEMS; Gyroscopes; Coriolis force; High-reliability; Deformation robust; Folded-beams; Spurious mode;
机译:带有集中式弹簧悬架的MEMS陀螺仪展示了单数字分频和稳健性
机译:绝缘基板上的单晶硅对称解耦MEMS陀螺仪
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机译:具有三组对称布置的折射梁悬架的横向驱动的变形 - 鲁棒MEMS陀螺仪
机译:开发高度对称的微机电系统(MEMS)蝴蝶陀螺仪
机译:Twist-n-sync:软件时钟与使用MEMS-Gyroscepes的微秒精度同步
机译:环形悬架上的压电致动线性谐振器,用于MEMS相敏陀螺仪
机译:球面陀螺运动和稳定性的几个问题及万向节内部万向节惯性离心力矩对陀螺稳定性的影响