机译:直流磁控溅射制备二氧化钛薄膜的物理性能:影响混合气体中衬底温度和O_2 / Ar
机译:直流反应磁控溅射制备AlNx薄膜的性能
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机译:使用N2 / AR溅射气体混合物通过RF磁控溅射制备的ALNX薄膜的介电性能
机译:射频磁控溅射未掺杂镧锰矿薄膜的结构,磁性和表面特性。
机译:射频磁控溅射在不同N2 / Ar气体流量下生长的Zn3N2薄膜的XPS深度剖面分析
机译:由RF磁控溅射制备的金属 - 介电复合材料的多层薄膜结构的光学和色度性能