机译:直流和脉冲直流不平衡磁控溅射沉积的氮化钛薄膜中的残余应力
机译:直流反应磁控溅射沉积氮化钛薄膜的微观结构和氢不透性
机译:灰色关系分析多目标优化脉冲直流磁控溅射钛氮化膜薄膜
机译:通过直流和脉冲直流不平衡磁控溅射沉积的氮化钛薄膜中的残余应力
机译:在高温“智能”摩擦应用中,在封闭场不平衡磁控溅射中反应性沉积的氮化铝压电薄膜。
机译:射频直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的透明导电掺铝ZnO多晶薄膜的载流子输运和晶体学取向特征
机译:通过高功率脉冲磁控溅射和直流磁控溅射在含氢等离子体中沉积的β-Ta和α-Cr薄膜