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Meng.LJ;
无;
氮化钛膜; 直流反应; 磁控溅射法;
机译:基材对直流反应磁控溅射沉积氮化钛膜性能的影响
机译:直流反应磁控溅射制备氮化钛膜的沉积及性能
机译:硅添加对反应性不平衡直流磁控溅射生长氮化钛膜表面形貌和结构性能的影响
机译:磁控溅射法在钛膜上氮化钛膜
机译:氮化铬和氮化铬铝外延膜,用于通过AC反应磁控溅射法生长α-氧化铝。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:离子轰击和衬底取向对不平衡磁控溅射沉积氮化钛膜结构和性能的影响
机译:pmDa-ODa聚酰亚胺沉积钛膜的界面化学。
机译:间歇反应器内氮化钛膜的沉积
机译:设置用于氮化钛膜分析的臭氧电子光谱的参考能的方法以及包括氮化钛膜和氮化钛膜的半导体器件的分析方法
机译:磁控溅射法制备反应膜的沉积装置及沉积方法
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