机译:用各种射频功率制备的超薄去耦等离子体氮化SiON栅极电介质
机译:使用改良的SiON膜和扩展的栅极电介质瞄准45nm
机译:p-MOSFET的SiON栅极电介质中NBTI诱导的界面状态和空穴陷阱的表征
机译:带有多个单晶圆工具的NBTI免疫第一等离子氮化SiON,用于45nm节点栅极电介质
机译:用于金属氧化物半导体栅极介电应用的二氧化硅远程等离子体氮化研究。
机译:栅堆叠结构和工艺缺陷对32 nm工艺节点PMOSFET中NBTI可靠性的高k介电依赖性的影响
机译:亚15a栅极电介质的等离子体氮化优化
机译:二氧化硅热氮化制备薄氧氮化物栅介质的性能