PERFORMANCE METAL GATE CMOSFETS; AGGRESSIVELY SCALED HF-BASED HIGH-K; MOSFET;
机译:通过对高K栅极电介质进行原子层蚀刻来改善金属栅极/高K电介质CMOSFET的特性
机译:界面/边界缺陷对高k /金属栅CMOSFET的性能和可靠性的影响
机译:W与Co-Al作为栅极填充金属,用于(子)22 nm技术节点的大规模替代高k /金属栅极器件
机译:高性能金属栅极CMOSFET,具有积极缩放的HF高k
机译:具有高K电介质和金属栅电极的按比例缩放的NMOS器件的闪烁噪声
机译:用于硅纳米晶浮栅存储器的基于Hf的高k材料
机译:基于Hf的高K栅极电介质和金属栅极叠层,用于高级CMOS器件