electrostatic actuators; optical attenuators; silicon-on-insulator; SOI technology; folded suspension; initially curved suspension beams; lateral motion; long travel electrostatic actuator; motion amplifiers; parallel plate electrostatic actuator; voltage-displace;
机译:在平行板静电执行器中使用动态电压驱动器来实现全行程行程和定位
机译:合并平行板和悬浮执行器以实现静电MEMS的线性和可调性
机译:合并平行板和悬浮致动器,以使静电MEMS的线性和可调性能够实现
机译:长行程平行板静电执行器
机译:MEMS静电平行板致动器的控制。
机译:阻尼对带分子间力的静电平行板和扭转执行器动力学行为的影响
机译:在平行板静电执行器中使用动态电压驱动器,用于全间隙行程范围和定位