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【2h】

Using Dynamic Voltage Drive in a Parallel-Plate Electrostatic Actuator for Full-Gap Travel Range and Positioning

机译：在平行板静电执行器中使用动态电压驱动器，用于全间隙行程范围和定位

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Microelectronics & Computer Engineering

机译：微电子与计算机工程

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作者
L.A. Rocha; E. Cretu; R.F. Wolffenbuttel;
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作者单位

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年度 2006
总页数
原文格式 PDF
正文语种 eng
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1. Using Dynamic Voltage Drive in a Parallel-Plate Electrostatic Actuator for Full-Gap Travel Range and Positioning [J] . Luis Alexandra Rocha, Edmond Cretu, Reinoud F. Wolffenbuttel Journal of Microelectromechanical Systems . 2006,第1期

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