移动元件仅受静电力驱动的静电平行板致动器以及相结合使用的方法

摘要

本发明涉及移动元件仅受静电力驱动的静电平行板致动器以及相结合使用的方法，该致动器包括：至少一个致动器装置，每一个致动器装置包括：一个移动元件阵列，其中每一单独的移动元件操作而受约束以响应于作用其上的一个单独的第一静电力而沿着一条对应轴线来回交替地行进，其中每一个移动元件具有一个静止位置并且仅被该第一静电力驱动远离其静止位置；以及至少一个电极，该至少一个电极操作以对来自该移动元件阵列当中的至少一个单独的移动元件施加一个受控的电位差时间序列，从而可选择地产生该第一静电力；以及一个控制器，该控制器操作以接收该数字输入信号，并且控制该至少一个电极和该单独的移动元件中的至少一者以施加该电位差序列。