deep silicon etching; potassium hydroxide etchant; hydrofluoric acid; bulk micromachining;
机译:湿法深硅刻蚀工艺蜡保护涂层的实验研究
机译:使用基于HNA的蚀刻溶液在硅中以光学表面质量对深通道进行各向同性湿法化学蚀刻
机译:用于硅基微反应器的嵌套式氢氧化钾蚀刻和保护涂层
机译:用于湿深硅蚀刻工艺的聚合物保护涂层
机译:苯并环丁烯聚合物与采用各向异性湿法刻蚀制造的硅微机械结构的集成。
机译:异丙醇浓度和刻蚀时间对低电阻晶体硅晶片湿化学各向异性刻蚀的影响
机译:嵌套氢氧化钾蚀刻和用于硅基微反应器的保护涂层