(111) silicon wafer; blazed grating; bulk silicon technology; microfabrication; MEMS; wet etching;
机译:通过偏转晶体取向(111)硅晶片制成的炽热硅光栅
机译:绝缘体上硅晶片上的独立变桨型闪耀光栅的设计与制造
机译:在绝缘体上硅晶片上制造200 Nm周期的闪耀传输光栅
机译:由(111)硅晶片制成的闪闪发光的硅光栅
机译:使用各种缓冲层在硅(111)晶圆上生长和表征氮化铝镓/氮化镓异质结构。
机译:单晶硅晶片中单片集成三轴高冲击加速度计的设计制造和测试
机译:硅装置二维像素液晶二维像素液晶闪光光栅的分析模型