pressure sensor; piezoresistor; diaphragm;
机译:用于生物医学应用的高性能硅MEMS压阻式压力传感器的设计优化
机译:高敏感的石墨烯压阻MEMS压力传感器通过在硅隔膜中的杆梁整合进行低压测量应用
机译:MEMS压阻式压力传感器应用的多壁碳纳米管-聚酰亚胺纳米复合材料
机译:海洋应用的压敏微机电压力传感器的设计与仿真
机译:在柔性基板上设计,模拟和制造压阻式压力传感器。
机译:阵列型MEMS压阻智能压力传感器系统的设计制造和实现
机译:用于生物传感应用的MEMS压阻传感器的混合仿真方法