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机译:用于生物传感应用的MEMS压阻传感器的混合仿真方法
Rosminazuin A. Rahim; Badariah Bais; Burhanuddin Yeop Majlis;
机译:基于微电子的压阻传感器的制造,校准和初步测试,用于生物莫莫姆斯应用
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