Cost; Temporary bond and debond; Thin wafer handling; Yield;
机译:薄晶圆处理临时键合和脱键方法的成本比较
机译:3-D TSV集成中用于薄晶圆处理的介电钝化和临时键合材料的兼容性
机译:临时键合技术改善薄晶圆处理
机译:薄晶圆处理临时债券和借方方法的成本比较
机译:用于微电子行业的硅晶片处理组件的先进处理方法。
机译:使用超薄金膜对室温和室温晶圆级Au-Au键进行氩和氧等离子体处理的比较
机译:通过电化学活性聚合物粘合剂进行3D集成的临时晶圆粘合和脱胶