机译:新型清洗液与各种螯合剂的比较,用于多晶硅膜上的CMP后清洗
机译:Mo基层的干法刻蚀及其与多晶硅/ MoO_xN_y / TiN / HfO_2栅堆叠的相互依赖性
机译:高密度氯基等离子体中多晶硅栅刻蚀的原子尺度细胞模型和轮廓模拟:钝化层形成对特征轮廓演变的影响
机译:氟基清洁溶液在络合栅极清洗过程中POY-SI蚀刻的机理
机译:将超薄(1.6-2.0 nm)RPECVD堆叠的氧化物/氮氧化物栅极电介质集成到双多晶硅栅极亚微米CMOSFET中。
机译:弄脏的胶垫可通过打滑来剪切干净:攀爬甲虫的强大自清洁机制
机译:新型清洗液与各种螯合剂的比较,用于多晶硅薄膜的Cmp后清洗
机译:使用具有多极限制的电子回旋共振微波等离子体源的多晶硅蚀刻。