hot embossing lithography; nanoimprint; thermoset; wafer scale; anti-sticking; working stamps;
机译:镍邮票制造使用SU-8光刻用于微型热压花蛇形微流体通道
机译:利用高分辨率工作印章的全自动热压印工艺
机译:利用高分辨率工作印章的全自动热压印工艺
机译:在热压花光刻中的4“晶圆级热固性工作盖章的性能
机译:薄膜材料的通道压印光刻。
机译:微金字塔的热压花进入热固性硫醇-NEE膜
机译:微金字塔的热压花进入热固性硫醇-NEE膜
机译:在聚合物基板中压印纳米压印光刻的基本原理