hot embossing lithography; nanoimprint; thermoset; wafer scale; anti-sticking; working stamps;
机译:镍邮票制造使用SU-8光刻用于微型热压花蛇形微流体通道
机译:利用高分辨率工作印章的全自动热压印工艺
机译:利用高分辨率工作印章的全自动热压印工艺
机译:在热压印光刻中的4“晶圆级赫索科特工作邮票的性能
机译:薄膜材料的通道压印光刻。
机译:通过化学剥离光刻技术对晶圆级生物活性衬底进行构图
机译:通过热压印制造亚100nm混合印模
机译:在聚合物基板中压印纳米压印光刻的基本原理