scatterometry; phase modulation; sensitivity;
机译:偶氮聚合物表面浮雕光栅的三维等离子亚波长尺寸结构的大面积阵列
机译:用于恒星冠冕的亚波长表面浮雕光栅
机译:用于恒星冠冕的亚波长表面浮雕光栅
机译:散射测定法:亚波长表面浮雕光栅的计量
机译:用于基于Mueller矩阵光谱椭偏仪的散射法进行定向自组装构图的光学计量学。
机译:使用交叉表面浮雕光栅的选择性致病性大肠杆菌检测
机译:通过亚波长表面浮雕光栅在IR和UV中产生Laguerre-Gauss光束