MEMS; Cantilever; Piezoelectric; Photoacoustic; Terahertz Sensor;
机译:改进的敏感性MEMS悬臂传感器用于太赫兹光声光谱
机译:用于太赫兹光声光谱的改进的灵敏度MEMS悬臂传感器
机译:使用MEMS悬臂传感器的太赫兹光声光谱
机译:太赫兹辐射的MEMS光声检测器进行化学传感
机译:MEMS悬臂传感器,用于太赫兹光声化学感测和光谱学。
机译:用于太赫兹光声光谱的改进的灵敏度MEMS悬臂传感器
机译:太赫兹辐射的MEMS光声检测器,用于化学传感。
机译:用于化学传感的太赫兹(THz)辐射的微机电系统(mEms)光声(pa)探测器。