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机译:聚焦氦和氖离子束诱发的蚀刻,用于先进的极紫外光刻掩模修复
机译:国家造船研究计划。 1995年船舶生产研讨会。第13号文件:3-D计算机化测量系统,提高造船和维修的准确性和生产率。